版上有無ALD製程或設備的專家??跪求.......
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markhsieh
10R真的跟6R一樣輕巧耶~~

亞 洲 車 神
亞 洲 車 神
markhsieh

註冊時間: 2007-11-12
文章: 2563
居住地: 新竹市光復路

發表發表於: 2011-11-01 22:49    文章主題: 引言回覆

cychoud 寫到:
what problem with you?...

film property, uniformity or chamber leakage?


We are sufferring particle issue. Surprised Surprised
But,since I post the message, I have received some promising suggestions.
For instance,higher temperature,season......etc. hoho hoho hoho
_________________
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Archerfish

400cc級騎士 (大型重型)
400cc級騎士 (大型重型)
Archerfish

註冊時間: 2009-05-12
文章: 578

發表發表於: 2011-11-01 22:55    文章主題: 引言回覆

是一種MBE嗎?
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cychoud
無塵室的工

重 車 天 王
重 車 天 王
cychoud

註冊時間: 2004-08-30
文章: 4184
居住地: 離開貳零古堡,去恩拾了><

發表發表於: 2011-11-02 21:18    文章主題: 引言回覆

center map?

try high pressure purge or replace PLC valve or tape temp(low=>high)...
_________________
蕭車的無塵室黑手
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